二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303C #293643329 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303C是一種用於半導體器件制造等技術應用的擴散爐及配件。TEL Alpha 303C是一種高度可靠、功能強大的三區爐，可提供高達八英寸直徑的基板的高速、精確處理。它支持各種擴散過程氣體，溫度可達1000攝氏度，最多可同時容納四種底物。TOKYO ELECTRON ALPHA 303C具有幾項先進的技術，如針對溫度均勻性優化的深冷區，為改善均勻性而縮小的溫度範圍，以及高溫範圍操作的雙區區。雙區區還通過允許從爐子兩側供水來提高冷水性能。TEL設計了Alpha 303C,以提供非常快的瞬態響應時間。此外，其先進的PID控制系統允許獨立的加熱調節，因此每種基板都經歷完全相同的工藝條件。它的控制器還提供多級設定點溫度保護和溫度分布控制，從而減少整個基板的溫度變化。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303C使用先進的質量流控制器，以確保工藝氣體的最佳供應。這使得該過程能夠以更快的速度進行,具有卓越的可重復性和高質量的結果。TEL Alpha 303C還配備了內置的自動調諧功能，使操作員能夠調整設定點溫度、上下區域之間的配電比以及其他參數，以考慮在嚴密溫度控制必不可少的應用中改變工藝條件。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303C是一種強大、可靠和高度精確的擴散爐及其附件，非常適合各種射影裝置的制造和技術應用。它提供了極佳的傳播過程的精確度和可重復性，其用戶友好的設置和先進的特性使其成為業界用戶的極佳價值。