二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303C #9097223 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303C是由全球半導體制造設備領導者TEL（TOKYO ELECTRON）制造的先進擴散爐。TEL Alpha 303C具有獨特的設計,使其成為需要精確控制關鍵流程步驟的芯片制造商的理想選擇。該爐由一個雙區0.7立方英尺加熱室組成，高溫極限為1250 °C。可選的等離子體氧化階段可用於減少與ESD相關的工藝步驟。TOKYO ELECTRON ALPHA 303C包括多項功能,可在廣泛的過程步驟中支持準確性和可重復性。它包含內置的流程控制器,用戶無需手動幹預即可設置和執行高效的預編程配方。此外，一個高速質量流控制器和一個集成的顆粒汙染監測系統提供了良好的氣體處理和室內清潔控制。Alpha 303C的額定最大壓力為100 mbar，快速測序（FS）坡度速率為150°C/minute，使其適合多種材料工藝，包括快速熱退火或晶體管活化。它還具有先進的前端安全功能，如壓力聯鎖和電離器，以減少汙染風險和損壞易受傷害的工藝部件。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303C與幾個TEL/TOKYO ELECTRON附件兼容，包括可配置的樣品處理單元（SHU-3000）和晶圓傳輸系統如TEL-ATS系列0和1。這允許用戶根據其特定應用程序自定義配置。TEL Alpha 303C是TOKYO ELECTRON致力於創新與品質的絕佳典範。它旨在提供優化的過程效率和準確性,同時通過健全的過程控制原則和包括前端安全功能來保持安全操作。因此，它是芯片制造商尋找可靠、精確的擴散爐的絕佳選擇。