二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #293812986 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal是一種緊湊、高性能的擴散爐，廣泛應用於半導體加工。它旨在為薄膜沈積提供高達1150°C的高質量退火。它有一個全陶瓷爐膛，旨在提供均勻的加熱和均勻退火多達5英寸晶圓的能力。該爐配有可編程邏輯控制器（PLC），以較高的精度和重復性控制溫度和加熱速率。它還具有內置的熱墻設計，確保加熱均勻，避免熱點和氧化。退火工藝可以通過手動和自動溫度控制來滿足特定需求。TEL Alpha-303i Anneal還具有自動裝載站和自動卸載站,以提高吞吐量和安全性。該爐的設計要求最低限度的維護和用戶幹預，還配備了多步編程和完整數據記錄器等高級功能。TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal以其熱墻設計，在較短的時間內證明了卓越的退火晶片，而不犧牲品質。它還提供可靠、節省時間的生產效率,在最高溫度下汙染的幾率最小。是低溫、高端工藝要求的完美選擇。