二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #9253025 待售

ID: 9253025
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Vertical anneal furnace, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal是一種最先進的擴散爐,旨在滿足業界專業人士的需求。這種先進的熔爐利用惰性氣體、高溫退火操作和工藝控制器來監測和調節所有退火操作的溫度,從而提供精確可靠的擴散。該設備具有高性能和準確的反饋設備,以保持一致的加熱和冷卻溫度。這種反饋系統在執行復雜的過程時特別有用,包括快速熱處理和脈沖退火。用戶可以從廣泛的參數中選擇所需的退火溫度和壓力,內置的過程控制器會根據操作自動調整設置,以確保精度。除了精確的退火操作,Alpha-303i還提供耐用性和安全性。它由輕質導熱鋁構成,既能確保可靠性,又能降低過熱和火災風險。密封惰性氣室還確保爐子沒有可燃氣體。附加的安全功能包括輸入錯誤設置時觸發的報警單元、防止腔室超壓的氣壓安全閥以及保護設備免受溫度波動影響的高級溫度絕緣。該Alpha-303i能夠達到高達1500攝氏度的溫度,溫度均勻度± 1%。此外,它還能夠執行一些額外的操作,包括晶圓退火、外延沈積、摻雜穩定過程等等。這些操作可以用各種不同的周期時間完成,並且可以在控制器的7英寸觸摸屏顯示屏上觀看。最後,Alpha-303i是完成了幾個額外的,如工藝氣體排氣機,門聯鎖安全功能,和一個腔室水冷工具。此高級型號還支持手動和自動控制操作,用戶可以利用各種設備配置來滿足其特定需求。最終,TEL Alpha-303i Anneal是一種卓越的擴散爐資產,能夠以高效可靠的方式完成各種退火作業。
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