二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097225 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是一種用於先進半導體器件制造的擴散爐及輔助設備。這個最先進的系統包括一個裝有高溫多區加熱室的水平爐和一個單室負載鎖單元。它被設計用來加工直徑達300毫米的矽、絕緣體上矽（SOI）和矽​​氫元（SiGe）晶片。該機具有先進的控制器和易於使用的觸摸屏界面,可為種植者自動控制基本溫度、加熱速率、冷卻速率、氣流和壓力水平。還包括一個高科技警報工具，用於在發生故障或意外情況時警告用戶。爐子使用線性感應加熱資產，利用線圈陣列在晶圓表面產生均勻的溫度曲線，確保每個點的溫度分布精確。加熱和冷卻參數可以調整到非常低和非常高的水平，允許退火和氧化等過程以非常高的精度和控制水平進行。爐內采用多區加熱模型解決溫度不均勻問題，可創建多達七個獨立的溫度區配置。該爐還配備了低熱輻射和有源熱管理模塊，確保了高效的熱性能。智能加濕器可減少冷凝並防止汙染，進一步加強了這一過程。最後，TEL Alpha 303i-H配備了單一腔室鎖載設備，最大限度地減少晶片對晶片的汙染，並配備了復雜的氣體環境監測系統，用戶可以精確測量不同氣體的濃度，確保擴散過程的最佳性能。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是一個最先進的擴散爐和附件單元，為用戶提供更高產量的半導體器件制造工藝所需的精度、精確度和控制。