二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097229 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是一種先進的擴散爐，專門設計用於將熱量均勻地分配到多種材料中。它是一種高溫、單晶片擴散爐，旨在最大程度地提高工藝的均勻性和可重復性。TEL Alpha 303i-H具有精確的垂直輪廓和高效的擴散室加熱、機械堅固和熱可靠的加熱系統以及自動的次大氣氣體面板。其垂直安裝的精密爐和高效擴散室利用多種氣體流動和對流，通過快速加熱和冷卻晶圓表面，確保了可靠的溫度均勻性。該爐還配備了自動化的高性能氣體混合和次大氣氣體控制系統。這種擴散爐具有高速加熱和冷卻、均勻一致溫度曲線的線性反作用室、計算機控制操作以及直觀的觸摸屏用戶界面。其高效率的加熱能力和精確的溫度控制，允許對金屬、多晶矽等多種材料進行等離子體沈積、蝕刻和植入處理。其他功能包括高溫可編程輪廓功能、高達50°C/min的快速采樣速率和0.2°C的溫度均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H附有緊急關閉開關、排氣系統、報警系統等一系列先進的安全機制。它還具有高度可配置性,因此可以針對各種不同的流程輕松快速地修改其設置,從而改善周期時間並節省成本。總體而言，Alpha 303i-H是一種先進的擴散爐，它提供高效和一致的熱處理和高溫性能，為各種熱處理需求提供可靠和經濟高效的解決方案。