二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097235 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H擴散爐及配件是一套為滿足半導體工業最苛刻的要求而設計的先進工具和設備。該爐由一個最高工作溫度為1250 °C，室頂溫度為1100 °C的不銹鋼室組成。它采用雙壁結構設計，並配有可互換的襯裏，便於維護和優異的效果。自動化控制設備和先進的過程控制技術提供了卓越的溫度均勻性和快速循環時間。該裝置還配有高精度氣體控制、負載鎖定晶片盒、TEL Lam分子束嵌入器，提供更好的過程控制。這種強大的組件組合確保了當今半導體器件開發的高度先進的解決方案。TEL Alpha 303i-H爐具有先進的診斷和安全功能,使其能夠與用戶通信並提供有關系統操作的詳細信息。這也有助於故障排除和維護,並為用戶提供更高的控制級別。用戶友好的圖形界面可方便地訪問設備參數,並有助於確保正確的機器操作。擴散爐還包括石英管加熱器、自動溫度/壓力控制、鎢電阻加熱元件、排氣工具和高性能雙區氣體質量流量控制器。這些附加組件為成功和高效的熱管理過程提供了完整的軟件包。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H資產提供了廣泛的材料加工能力，包括為CU-BO表面精加工和氮化物工藝加工底物的能力。擴散爐可安裝多臺高密度/低漂移電動機，具有高精度和可重復性，具有變速控制和實時監測能力。Alpha 303i-H模型還包括一個內置氣體盒，為目標基質上的氣體分子均勻擴散創造一個密封的大氣。這確保了氣體在基板上的準確、可重復和低公差擴散。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H設備是當今復雜半導體器件生產工藝的智能解決方案。其先進的設計、功能集和易用性相結合,為用戶提供任何現代半導體器件生產環境的最佳解決方案。