二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097237 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H
ID: 9097237
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
MTO Furnace, 12", 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H擴散爐是一種高精度、多功能的熱處理裝置,用於對合適的材料進行退火。它是一種單室高密度感應加熱設備,具有低功耗、高熱效率和一致的熱均勻性。該機具有直徑為300 mm的單一加熱空間,提供高度的溫度均勻性,在750-1300°C的溫度範圍內工作。它有幾個附件,包括噴射閥、廢氣監控器和鼓風機,以控制熱環境,提高加工材料的質量。TEL Alpha 303i-H搭載了創新設計,將大容量真空系統與大型氣體輔助排氣單元相結合。真空機能夠促進絕熱和擴散過程,而氣體輔助排氣工具可以優化退火過程中的溫度管理。該機器還具有若幹先進的診斷功能,可用於全面的設備監控和診斷維護。該機還配備了一系列增強性能和控制的功能。這些功能包括高級電源控制、模塊加熱和冷卻控制以及靈活的自動設置編程。先進的功率控制功能可實現精確的溫度和壓力控制,確保每個工藝步驟的最佳溫度。模塊加熱和冷卻控制進一步促進了加熱和冷卻過程,允許用戶修改溫度水平以適應正在處理的材料。此功能還可以減少能源浪費並提高生產吞吐量。最後,自動設置編程功能使自動操作能夠更快、更一致地執行流程。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H擴散爐還配有一套確保操作員和環境安全的安全功能。該機設計有內置高溫限制器、超壓安全開關以及提供額外安全措施的產氣恒定監控功能。此外,完全隔離資產確保外層空間的絕對隔離,以防止氧化和消除潛在的危險排放。整體的阿爾法303i-H擴散爐是一個突出的設備,具有多種安全和性能特點。憑借其創新的設計、先進的運行功能和各種安全措施,該爐是業界專業人士的主導選擇。
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