二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097239 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是市場上最先進的半導體晶圓加工擴散爐之一。這款四基爐設備融合了創新、先進的設計和可定制的設置，提供了高質量的晶圓和優越的晶圓均勻性。TEL Alpha 303i-H配備了多個負載端口和Obsidian邏輯控制，以自動監控和調節載荷區和卸載區的核心爐溫度。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H的獨特設計使加熱器壽命延長，蒸氣和氣體純度提高，晶圓均勻性提高，溫度控制精確，基板裝卸速度快、效率高。Alpha 303i-H采用獨特的集成氣體管理系統，可最大限度地提高純度和氣體使用效率。它具有先進的閥門和通風口，以減少排氣損耗，可擴大的吹掃時間，可調節的流量和壓力設置，以及一個封閉的腔室單元，以提高熱均勻性。這臺機器還包括真空開關、數據端口和有源水射流泵，以確保降低溫度波動、更高的純度和均勻性，以及在溫度均勻性室中一致的蒸氣暴露。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H配備了TEL PowerWaferII先進的晶圓傳輸工具，保證了基板的高精度裝卸。這一資產允許每個端口進行單獨操作，旨在最大程度地減少晶圓脫落和顆粒汙染。PowerWaferII包括一個自動汙染控制（ACC）模型和密封的墊圈子端口,以最大程度地減少層汙染並確保最大的晶圓穩定性。TEL Alpha 303i-H還在TOKYO ELECTRON專有、用戶友好的MGC-25平臺上運行,突出了其靈活的編程功能。此平臺允許自定義設置、預編程功能和自動化操作,允許用戶快速配置、更改和監視擴散過程。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H擴散爐提供了先進的模塊化設計、優化的氣體管理設備、專有的PowerWaferII晶圓傳輸系統以及用戶友好的MGC-25平臺，以實現優越的晶圓均勻性和持久的性能。Alpha 303i-H是一種可靠可靠的擴散爐，適用於各種半導體晶圓加工應用。