二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097240 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H是為超高純度（UHP）半導體器件加工而設計的高性能垂直擴散爐及配件設備。該系統具有卓越的工藝性能和溫度均勻性,溫度範圍從室溫到1000 °C。此外,該單元可容納8英寸以下的晶片。用於超低電阻率處理。該機采用載波Flow™技術,提供精確的溫度均勻性控制.這項技術改進了對溫度速率均勻性的控制，使晶圓處理具有較高的設備產量。該工具還包括對氣體流量進行精確控制的滑行Elements™技術、均勻的護套壁以及對加熱晶片的溫和控制。這有助於防止晶片的橫向位移，並確保晶片表面的均勻加熱。資產還包括獨特的加熱元件和溫度傳感器配置，允許精確控制加熱器功率和溫度。此外，該模型還包括一個防止溫度突然變化的專利溫度補償設備。這有助於確保整個時間以及整個晶片表面的最佳溫度均勻性。TEL Alpha 303i-H還具有惰性氣氛，適合一系列工藝操作。為確保超高純度操作,系統配備了預處理和後處理烘烤以及獲得專利的快速熱退火解決方案。這有助於確保高設備產量和穩健的過程操作。該單位還包括一個安全單位，幫助提供適當程度的保護，防止人員和設備受到傷害。安全單元兼具機電保護功能，包括聯鎖機等安全審批。此外，安全單元還包括一系列LED指標，進一步提升人員和設備的安全性。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是一種先進的擴散爐及輔助工具，提供卓越的加工能力、溫度均勻性和晶圓加工產量。該資產專為UHP設備處理而設計,具有Carrier Flow™技術和Glide Elements™技術,以及獲得專利的溫度補償模型和安全單元,非常適合用於可靠且經濟高效的半導體設備制造。