二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9377244 待售

ID: 9377244
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Vertical anneal furnace, 12" H2 Anneal 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H擴散爐是一種先進的熱處理工具,為電子設備提供高水平的高效可靠擴散。TEL Alpha 303i-H旨在滿足最高的行業標準,包括:高性能、可靠的循環時間優化、多用途的實時控制以及降低的功耗、時間和成本。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H擴散爐是最苛刻的設備制造應用的最佳選擇。Alpha 303i-H采用獨特而優雅的寬輪廓設計,可提高峰值吞吐量並縮短周期。它采用了最新的伺服電子技術和先進的軟件控制,能夠對散裝晶片和邊緣框架進行快速和高度精確的熱處理,具有無與倫比的均勻性和周期時間控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 實現了 3°C的優異溫度均勻性,其大型不銹鋼加熱器塊從零到1100°C的最高溫度快速均勻加熱。TEL Alpha 303i-H的其他特點包括;一個易於進入加熱器塊的人體工程學室內,一個高溫無風扇強制對流系統,以實現卓越的均勻性,一個可調整的功率控制,允許在速度/溫度控制下進行溫度傾斜,一個具有超高壓能力和可調流量的低壓系統設計。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H也提供了一系列配件來提升其性能,包括;一個先進的全可編程控制器,帶有用於用戶友好操作的觸摸屏;一個手動操作的磁盤式晶片支架,最多可安全容納10個晶片;各種可移動的盒式晶片支架,最多可容納25個晶片;一個提供改進樣品均勻性的不銹鋼網狀屏幕;一個大型靈活安裝的真空泵;以及鈍化/蝕刻氣體系統和盒子。Alpha 303i-H Diffusion Furnace是高端擴散應用的理想系統,為用戶提供頂級的均勻性、可靠性和性能。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H具有卓越的溫度均勻性、出色的溫度響應能力以及強大而通用的工具,是先進設備制造必不可少的工具。
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