二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9394974 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是為半導體和MEMS（微機電系統）制造中的高級加工應用而設計的擴散爐和配件。該設備采用超高溫側壁氣體入口/出口,限值為600°C,並采用低成本、可靠且節能的氣體分配選項,以實現快速加熱和冷卻速率。該爐配備了先進的多區、多大氣、主動溫度監測/控制系統。TEL Alpha 303i-H的最大基板尺寸為40mm2,具有出色的熱均勻性和均勻性,在-20至1200 °C的範圍內有0.2°C的波動。這樣可確保整個溫度範圍內的熱應力和均勻性最小化,而基板上的熱梯度最小。該機組還具有高達300 °C的低頂表面溫度，以及選擇性長波長光學泄漏檢測機等節電功能，以防止稀有昂貴的工藝氣體不必要的損失。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H還有一個先進的主動溫度監測/控制工具，具有獨立的編程時間和多區控制器，具有高達八區的單溫控制條件。它還包括一臺大型計算機,具有客戶歷史記錄、用戶設置模式、事件日誌、會議廳監控、自定義設置點控制、流程數據收集和列表文件功能以及多任務數據收集等多種高級功能。它還為任何溫度波動和/或流程問題提供警報資產警告,使用戶可以解決流程中的任何意外事件。該模型還具有低氣壓關閉、輻射檢測、氣體泄漏檢測、緊急關閉和廢氣控制系統等先進的安全特性。它還有一個先進的冷卻設備，在快速冷卻時防止溫度過沖，以及在工藝完成後可編程的冷卻，以適當冷卻腔室並節省能源。總體而言，Alpha 303i-H是一種高效可靠的擴散爐和附件，設計用於半導體和MEMS制造的高級加工應用，並具有多種安全和準確性的特點。