二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9402692 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是一種用於半導體器件應用的擴散爐。設計用於可靠、精確的基板加熱,性能最高.該爐設計用於處理大面積和小面積基板以及單個半導體器件。該303i-H為先進的半導體器件處理提供了通用的溫度曲線和設定點。擴散爐由高熱效率材料如鉬和鎢構成。該爐采用特殊加熱元件和熱電偶布置的三區地幔。這些區域的溫度在200°C至1250°C之間。多端口設計允許快速恢復時間，快速的溫度均勻性，並在爐子的所有區域出色的溫度控制。爐子裝有內置的可編程控制器和集成觸摸屏顯示器。該控制器允許用戶編程多達12種配方、設置溫度控制參數以及存儲多達50種溫度配置文件。加熱周期和大氣要求也是可配置的。該303i-H與各種配件兼容，包括負載鎖、冷卻器和裝載機。負載鎖定功能允許清潔和高效地將基板進出爐子。液氮冷卻器可用於快速冷卻底物，限制性能的任何變化。加載程序可自動插入、移除和分離基板。TEL Alpha 303i-H是一種安全可靠的擴散爐，用於處理小面積和大面積基板。它具有堅固的結構和溫度控制，以及對復雜配方的極大靈活性，導致高端半導體制造結果。與附件（如負載鎖、冷卻器和裝載器）的兼容性進一步提高了其性能。