二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9411632 待售
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ID: 9411632
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
Furnace, 12"
Process: MTO
Exhaust box
AC Rack
Heater
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是為半導體制造而設計的擴散爐及輔助設備。它提供了一種高效、可靠且經濟實惠的方式來創建產量大且可靠性高的小型設備。該系統由具有特殊熱和真空條件的腔室、晶圓座和閘門控制器組成。閘門控制器提供對室內溫度、氣流和壓力的控制。TEL Alpha 303i-H采用三合一工藝氣體溶液和新開發的氣體分配裝置。這種組合允許快速穩定的高通量沈積需要現代設備性能。加熱室還有一個獨特的「播放模式」，可以讓用戶重播過去食譜的模擬。這樣可以對工藝配方進行微調和重現。晶片支架采用切削邊緣CVD技術，采用嵌入式鋸齒設計，不需要濕洗。載荷後基板表面的高精度平整度保證了基板在擴散過程中均勻均勻分布。該控制機還具有先進的PLC邏輯和一個彩色顯示屏，用於監控進程數據。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H擴散爐的設計具有優異的溫度穩定性和均勻性以及快速的冷卻和加熱速率。該工具配有兩個氣體入口和一個真空輸出功能，用於安全和受控的過程。通過連接電源、控制器和資產級聯,可以直接訪問過程控制,從而節省時間和精力。所有的控制和安全功能都通過了高級HMI功能的TEL批準。阿爾法303i-H擴散爐是制造高質量、可靠、經濟高效的半導體的理想解決方案。具有寬廣的溫度範圍、先進的工藝控制和自動操作，該型號為用戶提供了一個無憂且易於使用的設備。從大批量生產到小批量原型生產，都能滿足所有制造工藝的需求。此外,它旨在提高生產率、效率和性能。
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