二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCFN #9381866 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCFN是為實現復雜矽片加工的高效摻雜而量身定制的擴散爐及配件。這種工業級設備在半導體芯片上采用Kappa-V Czochralski（KVC）的晶體生長浮帶法。該設備為用戶提供兩個KVC燈，與三區石墨敏感器系統集成在一起，可有效加熱甚至生長晶圓。TEL Alpha 303i-KVCFN具有溫度可控的大型水冷石英室，可有效促進高純度工藝氣體的熱印循環。其電源基座單元設計為為每個KVC燈提供平穩、精確的電壓，保證一致、精確的運行。該爐還具有上層、中層和下層區域的獨立溫度控制功能，可提供全過程控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCFN利用一個特殊的條形圖單元，使用戶能夠監視和比較每個區域的溫差。此外,該腔室還具有增強抗氧化性的特殊設計元件.這大大提高了爐子的壽命，並允許在較長時間內安全運行。Alpha 303i-KVCFN的石墨敏感器設計用於在半導體晶體生長和沈積過程中實現整個過程的精確溫度控制。這是由前真空石英室進一步增強，調節溫度和壓力，以提高質量和高效操作。此外，機器的高純度氣體輸送工具確保有效的摻雜作用在整個晶圓，消除熱點等問題。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCFN是一種工業級擴散爐和結構，具有許多技術進步，以確保復雜矽片加工的摻雜成功。該資產提供了改進的溫度控制、增強的抗氧化性和高純度氣體輸送，以提高質量。