二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN #9381859 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN擴散爐和輔助設備為包括矽片和復合半導體材料在內的先進熱工藝提供了多種選擇。它是一個可靠和堅固的系統，為熱過程的可靠性和可重復性而設計。TEL Alpha 303i-KVCN支持精確的溫度控制,還提供許多其他功能,使其成為更先進的系統之一。該單元由一個可通過可移動的檢修面板方便維修人員使用的主室、一個中心箱/緩沖室和一個帶密封速調管的前端多端口真空門閥組成。主室設計具有較高的絕緣和溫度均勻性,可有效控制溫度.該機器最多可同時容納9個2英寸晶圓，非常適合外延、CVD、氧化物和氮化物等工藝。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN以其先進的溫度控制器和壓力控制器提供了卓越的溫度和壓力分布控制。溫度控制器提供對主室溫度的精確控制，並確保精確的溫度以獲得準確的結果。溫度控制可以根據基材材料和參數定制，從而提高效率，減少人工幹預的需要。壓力控制器根據工藝特點自動調整壓力剖面，優化溫度剖面，實現更精確的處理。Alpha 303i-KVCN還配備了許多高級安全功能,使其成為最安全的系統之一。它包括在緊急情況下關閉熱源的自動溫度控制工具、手動重置的安全保險絲和緊急關閉開關。這些功能保護人員和設備,並確保資產的安全運行。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN還提供了一系列附加附件,可實現更好的工藝控制和更大的靈活性。這些附件包括負載鎖定模型、薄膜級樣品更換器、自動化過程監控設備和可編程晶片支架。其他可選元件包括光刻系統和晶圓操縱單元。TEL Alpha 303i-KVCN擴散爐附件機是一種可靠、堅固的工具，為各種熱處理應用提供了巨大的潛力。該資產通過其先進的溫度控制器和壓力控制器提供了對溫度和壓力剖面的特殊控制。該型號還包括一系列安全功能、附加附件和靈活的編程功能。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN憑借其高質量的構造、可靠性和靈活性，是尋找先進熱處理設備的企業的絕佳選擇。