二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN #9384011 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN是一種用於半導體基板和材料開發的擴散爐。它為先進的材料和加工提供了高精度和可靠性。TEL Alpha 303i-KVCN包含一個3區系統，每個系統都有獨立的溫度控制和單獨的氣體分配，允許用戶為各種基板定制加工。它配有1.0kW電子束蒸發器和圖形用戶界面（GUI），用於控制所有處理參數。該擴散爐裝有一個原位質量流量控制器，使其非常精確可靠。它還使用垂直電阻溫度檢測器（RTD）和熱電偶進行精確的溫度控制。自動校準系統可確保最大精度和可重復性。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN還利用閉環壓力控制系統在加工過程中保持最佳腔室壓力。這確保了被加工材料的受控反應，提供了可重復的結果。該爐還配有高效的垂直石英鐘，以提高溫度均勻性和提高工藝產量。它還使用了一種高性能的氧氣洗滌器，從腔室中除去氧氣，以消除被加工底物的氧化。此外，Alpha 303i-KVCN還配備了一個單晶片轉移機器人，設計用於在工藝完成後將晶片從卡盤中移除。它還被設計為與各種不同尺寸的晶片兼容。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN是一種用於半導體加工的多合一解決方案，是尋找可靠、精確擴散爐的制造商的理想選擇。高精度、最大可重復性和閉環系統保證了統一的結果和優異的產量。