二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596434 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是為半導體工業設計的擴散爐及配件。它是為滿足最苛刻工藝的需要而設計的，並被用於廣泛的應用，包括薄膜的沈積和蝕刻、表面處理、氧化和氮化物處理。TEL Alpha 303i Nitride是一種高性能擴散爐，使用垂直直熱熱區設備和垂直通風量。這種配置提供精確的熱均勻性，極好的溫度穩定性和精確的溫度分布均勻性在晶圓水平。采用垂直熱區加熱系統和擴大的通風量，最大限度地提高了晶圓級均勻溫度分布的均勻性，提高了工藝和產品產量。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride配備了最新的溫度控制技術，允許精確的溫度設置、坡道速率控制和爐循環控制。它帶有一個觸摸屏控制器，可以方便地監控和設置流程參數。它還配備了可編程邏輯控制器（PLC），用於過程參數的自動設置和控制。熱區由導電材料制成，作為熱源，進一步最大化傳熱，從而提高熱均勻性和溫度穩定性。熱區還配備了陽極組件，有助於控制和調節用於控制溫度的電流。Alpha 303i Nitride還帶有安全功能，以確保工藝操作員的安全。它具有超溫報警器、爆炸和火災報警器、緊急電源關閉等環境保護，此外還有一個自動聯鎖裝置，防止在操作爐子時打開熱區。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride機的設計提供最大的工藝靈活性。它可以處理各種不同的晶片類型和大小，以及各種處理氮化物的工藝配方。它還設計用於快速輕松的維護,具有簡單的一觸校準和多種診斷工具,可確保過程穩定性和優越的產品產量。同時雙晶片對準也可用於雙面氮化物塗層。總之，TEL Alpha 303i氮化物是為半導體工業設計的高性能擴散爐及配件。它配備了最新的溫度控制技術和安全功能，以確保最大程度的安全和過程穩定性。它能夠處理各種用於氮化物處理的晶圓類型、尺寸和工藝配方，提供最大的工藝靈活性和優越的產品產量。