二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596435 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i氮化物是一種高端擴散爐及相關配件。它是一種多區、單晶片熱處理設備，能夠進行三維化學氣相沈積（CVD）和各種材料的擴散。TEL Alpha 303i Nitride陣容包括高功率氮晶體生長模塊，以及氮化物、耐火金屬和過渡金屬CVD模塊。TEL專有的IFEC（集成爐電子控制器）為控制和管理熱過程提供了一整套選項。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride設計用於處理最大晶圓尺寸為300 mm的較大晶圓。每個工藝最多可容納16個晶圓，高吞吐量使其適合大規模生產。該機還提供多種高溫能力，從室溫到高達1100 °C。Alpha 303i Nitride的「冷卻輥」能夠快速冷卻，有助於在熱過程中保護晶片。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride受益於最高純度的氮氣、氙氣和其他氣體，以達到優越的品質熱處理。其機載自動化軟件使其易於操作,並有助於高精度地保持生產產量。可選的數字圖像處理系統（DIPS）自適應控制氮化物和耐火材料的厚度分布。TEL Alpha 303i Nitride集成了先進的安全功能，包括防止人員受傷的紅外安全窗口，以及用於檢測和防止氣體泄漏的壁掛式安全單元。該爐配有實時監測機，用於監控其燒制溫度、壓力、氣流狀況。此外，還提供了一種追蹤工具內晶片和石英管的特殊工具。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是一種高效可靠的擴散爐和CVD資產，非常適合大規模生產。其強大的氮晶生長模塊、寬廣的溫度範圍和自動化的系統確保了對熱過程的精確控制，有助於最大限度地提高產量。該機包含了許多保護人員和設備的安全特性，使其成為氮化物和耐火金屬熱處理的理想選擇。