二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293638695 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是一種擴散爐和配件，設計用於半導體加工應用。該擴散爐的擴散溫度範圍為1600°C至3000°C,氮環境高達1050 °C。采用原位熱電偶測量方法驗證並優化了960°CAE的均勻性和最大溫度.該爐還提供快速高溫坡道和冷卻能力，使用戶能夠節省時間和能源。該擴散爐具有多種先進的特點，支持材料在廣泛應用中的加工。它提供了具有高Cpk排名的晶片的高吞吐量，允許用戶實現高產率。該爐具有獨特的控制器，利用先進的PID和Fuzzy Logic算法進行精確的溫度和大氣控制。TEL Alpha 303i Nitride的排氣系統設計用於限制顆粒物汙染並提供長時間的穩定運行。該爐使用設計用於高工藝產量的超低氣體壓力，以及需要低除氣的低溫燒結應用。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride采用熱墻設計,可提高溫度均勻性,並且無需額外冷卻即可實現刀具到刀具的傳輸。它還配有多級環境控制系統，以確保從大氣中消除背景氣體。Alpha 303i Nitride擁有一系列支持多種工藝的配件，包括氧化物、氮化物和多晶矽沈積、氧化物蝕刻、金屬化等相關工藝。此類附件包括靜止範圍線性運動級、中程線性運動級，以及感應器和先進的溫度控制系統。它還配有液晶觸摸屏顯示屏，使用戶可以輕松監控其流程狀態。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是各種半導體加工應用的完美選擇。它提供卓越的性能，精確的溫度和大氣控制，以及一系列先進的特點和配件。TEL Alpha 303i Nitride以具有競爭力的成本確保高產率，是高級研發項目的理想選擇。