二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293655836 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i氮化物爐是一種高性能的基材加工設備。它非常適合將各種材料擴散到矽和其他半導體基板中，並且能夠處理從離子註入到氧化和氮化物應用的半導體器件的所有領域。在技術能力方面，TEL Alpha-303i氮化物爐的最高溫度為1250 °C，最大熱均勻性為± 5°C。它在70 x 70 mm的區域內也有± 0.9°C的溫度均勻性，在140 x 140 mm的區域內也有± 2.2°C的均勻性。該系統能夠保持超過150個熱循環的熱歷史,並可用於大容量生產問題。其高度可靠的整體加熱器單元可確保± 0.2°C的最高溫度控制精度。該機配備了一系列先進的功能，如配有遠程觀察工具的高溫計，以及氣流控制資產。這些可以精確控制氮化物和其他加工從腔室到晶圓的水平。氮化物爐也能在溫度分解的同時控制摻雜。這是通過操縱氮氣流動和矽烷源氣體流動之間的平衡來完成的。它還包括一個先進的石英下電極配置，設計用於提高均勻性。TOKYO ELECTRON Alpha-303i NITRIDE爐是一種可靠而強大的基材加工工具.其先進的功能確保了廣泛的高精度工藝，並利用了最新的半導體器件和晶體生長技術。其溫度控制精度和熱均勻性保證了中高批量生產的一致性。它還使用先進的傳感器和自動化的控制系統，以確保最大限度的安全和質量的過程結果。