二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #9282706 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是一種工業級擴散爐及配件，設計為能夠以優異的均勻性進行精確的熱處理。該設備的最大加工面積為3英寸,可容納各種基板,並具有精確的熱響應,以確保穩定和一致的結果。具有氮氣蝕刻、多區加熱4、二次氣體輸入能力，提高了生產效率和重復性。TEL Alpha 303i Nitride具有TEL直接升力阻力加熱和高溫能力，溫度範圍為00°C至1400°C，溫度均勻度± 1°C。該裝置配有先進的控制器，可進行精確和監測的氮化物工藝。對源、目標和冷卻劑輸出進行集成的現場監控,可實現安全、準確的處理。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i氮化物還可以提供氮氧化物氣體蝕刻、冷壁和多區加熱，以增強蝕刻速率和加工均勻性。此外，Alpha 303i Nitride可以附加附件使用，進一步擴展其應用能力。可伸縮邊緣環可用於幫助裝載和卸載基板，以及將各種氣源精確地輸送到目標基板。此外，耦合器附件還提供一系列材料配置，如波導和平行板接口。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是那些希望加快氮化物處理速度的人的理想工具，同時仍然保持高度的精度和可重復性。TEL Alpha 303i Nitride結合了先進的控制器、高度均勻的溫度和大量的附件功能,是一種用途廣泛且可靠的工業級擴散爐和附件。