二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #9282707 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是一種用於半導體和薄膜生產的擴散爐及配件。它是熱氮化物、LPCVD、多外延和蝕刻工藝等多種加工步驟的理想選擇,每一步驟均具有出色的溫度均勻性和可重復性,以確保產品質量一致。TEL Alpha 303i Nitride由加熱區和淋浴板兩個截然不同的部件組成，並由可編程電源供電，允許精確一致的熱力。加熱區是一個工程石英熱觀察窗口，位於系統頂部，在350至1200 °C的溫度下運行。淋浴板產生均勻分布在工藝室內的溫度，由陽極和接地平面定義，供應頻率為400到2000Hz。該系統具有12升的腔室容積和一個接入口，允許腔室內部和外部之間快速交換材料。其先進的溫度穩定性、均勻性和可重復性保證了所制造的薄膜和被加工的基板的精確和一致的厚度。具有觸摸屏界面的數控（NC）設備允許爐子的可調安全操作,用戶可以在自動啟動每個循環之前設置預定的處理參數。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride還包括旨在改善生產周轉時間的附加功能,例如自動啟動功能,該功能可確保所有循環參數在多個運行中得到維護。Alpha 303i Nitride專為人員和材料的最佳安全而設計，該室配有溫度和壓力報警器和關閉功能，以及水冷外板，可提供額外的防熱保護。該系統的高性能加上用戶友好的設計和卓越的安全標準，使得TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride成為擴散爐需求的絕佳選擇。