二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #9404258 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是生產半導體的工具。這個擴散爐利用兩區反應堆,允許高溫、氮氣氣氛和低壓氮化。此外,該爐還配備了集成工藝控制設備(IPC),可實現精確、可重復的溫度和氣流控制,實現高通量和優良的質量控制。兩區反應堆有一個電阻加熱的上段和一個側壁加熱的下段,都有來自反應堆頂部和底部的獨立溫度控制。這項技術產生先進的氮化物外延層,用於制造電子設備。高溫和氮氣氣氛使反應性氣體進入腔室,有效地提供了所需的極端溫度和氮化物。此外,可調節的側壁加熱確保了整個腔室的均勻性,從而實現了一致的薄膜工程.IPC系統是該擴散爐的主要特點.該裝置包括先進的流動氣體控制和監測,以及用於調節和計時氧化過程的數字控制機。這樣可以確保每個過程步驟都達到最高標準,並提供無懈可擊的質量控制過程。此外,IPC工具還支持各種配方和響應時間,從而實現卓越的吞吐量。TEL Alpha 303i氮化物是一種極耐擴散爐。它有一個鋁室和一個高效的傳熱資產,允許均勻加熱,最高溫度為1050 °C,這使得它非常適合多種工藝,包括氮化物外延生長。該爐配有一系列配件,如SmartView相機和具有集成加熱元件的石英反應堆,使氮化和氧化過程成為可能。總體而言,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是一種可靠易用的擴散爐,能夠取得優異的效果。它是兩區反應堆和IPC模型,能夠實現精度和重復性,以及高吞吐量。此外,它還配備了石英反應堆和SmartView攝像頭,可以進一步定制和使用爐子。因此,對於那些希望生產高質量氮化物外延層和先進設備的人來說,Alpha 303i氮化物是一個理想的入門級模型。
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