二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Oxide #293597095 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Oxide是一種擴散爐及其相關附件，用於矽片的熱氧化。該爐的設計目的是在小型實驗室和生產規模的作業中提供均勻的熱氧化。它能夠產生高純度的氧化物，範圍從單一設定溫度到經過仔細調整的穩態氧化輪廓。利用立式壁爐結構控制氧化溫度，利用位於晶片負載附近的質量流控制器對晶片進行高效熱處理。該設備設計用於完美的熱調節，提供穩態溫度和非常低的熱梯度橫跨基板表面積。該爐熱力學穩定，堅固耐用，制造成本和維護成本低。擴散爐包括幾個特點，如獨特的雙軸驅動系統、可調節的逐區溫度、壓力控制器和數字溫度/壓力預設。雙軸傳動利用機械傳動提供穩定的溫度控制而不會出現溫度過調或不穩定，而可調節的逐區溫度則允許使用者在不同溫度下同時處理矽片的不同區域。此外，壓力控制器和數字溫度/壓力預設功能允許在氧化物沈積過程中精確控制壓力和溫度。TEL ALPHA-303I OXIDE的主要優點之一是簡化了自動化。基於計算機的自動操作模式和車載實用程序提供了簡單高效的操作和熱氧化配方的設置。該單元還提供了工藝和設備參數的可追蹤性，因為在擴散發生後對每個配方進行了詳盡的分析。這確保了所有工藝參數的精確控制和記錄，確保了最優產量和最優質量。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I OXIDE還包括一些安全特性，如在溫度異常升高的情況下自動關閉和排氣口報警以指示氧化爐異常。此外，機器可以手動或自動模式操作，允許用戶靈活和安全。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I OXIDE是一種高效可靠的擴散爐，非常適合小型和大型熱氧化過程，也適合生產優質、均勻和薄薄的氧化層。它提供了出色的熱性能,允許溫度穩定且熱梯度低,從而提高了產生的質量和工藝產量。此外,它簡化的自動化和安全功能可確保易於使用和操作,同時提供最佳的生產效率和精確度。