二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293592993 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種擴散爐和相關配件，能夠執行各種半導體加工任務。使用鎢鹵素燈和氣體混合物，TEL ALPHA-303I能夠達到高達1250°C的溫度，這是一項令人印象深刻的壯舉。內置溫度控制器和可編程邏輯控制器（PLC）可實現精確、定制的處理溫度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I配有一個專門的工藝室，用於熱和化學氣相沈積，三氯矽烷，或濕蝕刻。此次升級使得沈積或蝕刻矽或鋁化合物，或類似金剛石的碳膜能夠增強電學和光學性能成為可能。TEL ALPHA 303 I也提供了沈積或蝕刻鋁、銀、鎳、鈦等各種金屬的能力。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I還配備了電力供電系統，使其能夠在比其他大多數擴散過程更高的電流和電壓水平下運行。這允許手動或可編程地控制電流和電壓，以實現更快的處理時間，以及增加橫向擴散過程中的沈積速率。此外，TEL ALPHA-303 I還可用於離子註入、光刻和幹蝕刻等多種工藝。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i的高溫和真空能力，由於熱均勻性的提高、沈積速率的提高和汙染的減少，對這些過程是有利的。最後，可以在TOKYO ELECTRON ALPHA-303I上安裝單晶片負載鎖系統（SWLLS），進一步提高擴散爐的能力。該系統允許快速、均勻地處理多個晶片，使其最小程度地暴露於空氣中，使其成為研發用途的巨大資產。總之，ALPHA 303 I擴散爐是一種功能強大、用途廣泛的半導體加工工具。其高溫真空能力，加上一次處理多個晶片的能力，使其成為研發項目的誘人選擇。