二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293606036 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種數字擴散爐，設計用於生產半導體工業中的專用基板和元件。這種設備經過精心設計,能夠以最少的投入提供非常精確和高效的結果。該爐由裝在退火室內的CVD工藝室組成。這使用戶能夠快速、輕松地退火、幹燥和冷卻組件。這反過來又提高了生產速度和效率。TEL ALPHA-303I利用PrecisionPattern技術提供具有高級熱均勻性的精確結果。通過集成薄膜圖樣控制系統實現了CVD和退火參數的精確控制。ThinFilm Pattern Control Unit使用戶能夠在最小程度地侵入基材的情況下創建精確重建的3D形狀。因此，用戶將能夠通過一致的深度、均勻性和表面質量來保持高基板質量。該爐包括一臺直觀的HF功率控制機，允許用戶控制射頻頻率和功率輸出，以進一步優化生產流程。HF電源控制工具還可確保對圖案進行精確校正,而不會產生任何失真。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I還包括一個革命性的溫度控制資產，比以前的型號更先進。其溫度控制模型在晶圓表面提供± 3°C的溫度均勻性，即使在存在高熱載荷的情況下也是如此。這樣可以實現高度精確的操作,並保持較低的功耗。此外，供氣設備有助於確保精確調節的反應性氣體的應用，從而促進高效和統一的加工。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I還擁有增強的安全功能,以確保操作員和用戶的安全。這些特點包括自動燃氣關閉系統、溫度自動停止功能和應急二次供氣單元。總之，ALPHA 303 I是一種高度先進的擴散爐，能夠快速、精確、高效的處理。其集成的薄膜圖樣控制機和HF功率控制工具可實現均勻、精確的圖樣而不失真。其溫度管理資產提供了卓越的溫度均勻性，同時其先進的安全功能保證了用戶的安全。