二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293619004 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 293619004
晶圓大小: 12"
Nitride furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是由TEL開發的先進擴散爐及配套配件。這臺機器是專門為高質量的擴散和薄膜沈積過程而設計的。它是一種四區水平分流管模型,結構堅固,適用於高溫應用。303i配備了一種正在申請專利的擴散管結構,采用銅管搭配陶瓷磨損層,以保證更長的壽命,並提供比其他系統更一致的工藝。它具有高效的氣體升降泵和廣泛的氣體流動設置,允許與爐子規格緊密匹配的高工藝速率。此外,它還配備了直觀的觸摸屏控制器,用戶可以快速輕松地設置和監控該過程。其強大的軟件和用戶友好的人機界面為用戶提供了精確定制流程所需的靈活性。303i還具有獨特的溫度設置,使用戶能夠設定爐溫,範圍為150至1000 °C。該產品具有多種特點,如薄膜厚度的高精度和重復性,沈積薄膜均勻性的增強以及隨時間推移的高溫穩定性。這可以顯著減少某些進程所需的重新運行次數。它還具有出色的安全功能,例如遠程電源故障保護,可以在電源中斷時安全運行。此外,303i符合CE、VDE和UL安全標準。TEL ALPHA-303I是高質量沈積工藝的理想選擇,如用於化學氣相沈積、外延、化學處置、電子和其他科學研究的工藝。它提供卓越的性能、精確度和可靠性,是要求苛刻的應用程序的首選。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I是一項有價值且經濟實惠的投資,因為它可以在擴散過程中節省時間和金錢。
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