二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293636078 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是為生產半導體晶片而設計的擴散爐及相關配件。TEL ALPHA-303I能夠在高達1200°C的溫度下進行擴散處理，使其適用於淺層和深層交界形成。實現過程定制的功能包括：用於過溫保護的爐源電源設計、全方位反饋過程設備以及對多個溫度區域的獨立控制。303i的人機界面（HMI）還包括高級聯鎖和診斷程序,為用戶提供靈活性、安全性和工作效率。其高效的散射式反流缸設計確保了工藝的均勻性，同時保持了良好的均勻性。此外,303i還具有卓越的射頻發生器性能,可以根據特定的層和應用程序要求進行調整。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I裝有先進的環保功能。這些特點包括超低水流率、專用冷卻劑冷卻器系統和臭氧保護。此外，該系統還配備了氣體置換裝置，用於處理各種不同工藝要求的氣體。氣體置換機還與氣體分析儀配合工作，以確保工藝參數得到良好維護。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I也有控制過程汙染的必要真空泵解決方案。該單元由大容量真空泵和獨立差壓計提供動力，以確保有效的過程控制。此外，該單位還有一個用於資產維修和一般維護的多折返維護工具。總體而言，Alpha 303i是一種大型、強大、有效的擴散爐及相關配件。其先進的技術確保了該單元適合廣泛的擴散處理環境。TEL Alpha 303i具有精確的控制和均勻性，是半導體芯片生產的有效可靠解決方案。