二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293652596 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一款高品質、專業級的擴散爐及其配套配件。熔爐是半導體工業中使用的一種熱處理設備，用於將摻雜劑擴散到基材中，以創造所需的電性能。這種特殊的模型，TEL ALPHA-303I，被設計為在受控環境中均勻加熱和冷卻基板。它配有集成晶圓轉移機器人和倒裝載機，以滿足許多生產線的需求。由於其大的腔室尺寸和閉環調節，運行設備時沒有延誤或整體停機，這使得它在操作上非常高效。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I適用於多種應用，包括植入物、摻雜劑、氮化、預清潔工藝和其他熱處理工藝。與其他類似系統相比,它提供了卓越的一致性、更快的設置時間和更高的吞吐量。Alpha 303i processes at wither at 900 Celcius, with a plasma heating generator to everage thermal diversion of the materials.它有一個特殊的溫度控制程序和可變的過程室，使其適合復雜的操作。TEL ALPHA 303 I還具有控制溫度、壓力、等離子體和其他參數的全自動系統。它的高級系統功能允許從一個預設快速切換到另一個預設,以及實時過程控制,從而使您能夠完全控制擴散過程。該產品還配有一系列配件，包括裝載系統、晶圓處理工具、真空泵以及一系列工藝傳感器和監視器。由於強大的功能和易於使用的功能相結合,ALPHA-303I擴散爐是那些需要專業級設備和配件來滿足熱處理需求的人的理想解決方案。