二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293658165 待售
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單擊可縮放
ID: 293658165
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Furnace, 12"
Type: Automation
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger cooling water unit
Gas supply unit
Exhaust vacuum line
Power box
Rapid cooling unit
Pump box LCVD system
Missing parts:
Quartz wares
Process tube
FUJIKIN MFC Air valve
HORIBA STEC
APC: CKD
Gas: PN2, N2, 0.1%PH3, SiH4, CIF3
Power supply:
Three Phase, AC 208V
Single Phase, AC 120V
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是專門為半導體應用而設計的擴散爐。它是一種緊湊、單軸的設備，可以用來在晶片中添加摻雜劑來增加材料的電導率。TEL ALPHA-303I有一個集成的爐膛，溫度控制和真空密封，允許精確和一致的處理溫度。其安全的聯鎖和安全系統確保操作員在操作過程中的安全。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I為擴散應用提供了最大的靈活性，包括為不同的氣體和氣體混合設定多次停留時間的能力。工藝時間準確、可重復，冷卻速率可調，對溫度曲線進行精確控制。ALPHA-303I真空性能優異,底壓低於1 Torr,高泄漏率高達5x10^-3 Pa-m^ 3/sec。它還配備了可持續監控驅動器清潔度的燈。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i工作與廣泛的底物，包括石英，矽和鋁。可以調整磁感器以適應特定的基板尺寸。氣體歧管有單獨的供應和排氣管線，控制流量和流形。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I能夠進行高溫度過程,100Torr時高達1100 °C。它還可以在高達1250°C的溫度下提供快速的熱處理。ALPHA-303 i包括單晶片處理和批處理的序列控制程序。它允許用戶設計特定的序列和重復進程。該系統還提供遠程監視和數據記錄功能,允許用戶從幾乎任何地方檢查溫度概況和設備狀態。ALPHA 303 I是一種可靠且易於使用的擴散爐機。它提供卓越的真空性能和快速的循環時間，同時確保過程的可重復性和可靠性。它具有內置的安全功能和靈活的自動化功能,非常適合各種基於半導體的應用。
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