二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293658609 待售
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ID: 293658609
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
Diffusion furnace, 12"
Type: Automation
Heater
Process chamber
Temperature
Controller
Scavenger cooling water unit
Gas supply unit
Exhaust vacuum line
Power box
Pump box
Rapid cooling unit
Missing parts:
Quartz wares
Process tube
APC: CKD
Gas: PN2, O2, HC
KAWASAKI MECHA
FUIIKIN EC Air valve
Power supply:
AC 440V, 3 Phase
AC 100V, Single Phase
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是為矽晶片的高精度熱處理而設計的先進擴散爐及配件設備。該系統采用超高速三區爐，具有單級、低瓦數、基於射頻的電阻加熱技術。TEL ALPHA-303I單元是模塊化的,可進行簡單高效的擴展以滿足客戶的需求。此外，該爐還設計有加熱屏蔽平面磁控管濺射源、多個高度可調節的裝卸架以及氣體進氣歧管。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I的溫度均勻性是首屈一指的，這是由於采用先進的P.I.D.控制的獨特的三區爐設置。這樣可以確保整個腔室內部準確、快速地保持所需的工藝溫度。一種專利的新型催化劑材料也能確保重復性和提高工藝穩定性。該爐還設計用於高精度均勻性和可重復性，例如整個腔室的溫度均勻性高達± 2°C。ALPHA 303 I也是為了方便維護和操作而設計的。爐子的設置是為了通過位於爐子背面和底部的不銹鋼檢修蓋快速方便地進入爐子和機器中的所有元件。此外，該工具還配備了高性能吸力設備，可有效清除加工周期內產生的廢氣。這可確保在此過程中不產生危險煙霧。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I的其他特性包括一個強大的微處理器控制模型，用於監測和調整爐子的加熱時間和溫度等參數。這樣可以確保每個周期都有準確可靠的過程,並能夠存儲參數以供將來使用。該設備還配備了自動晶片加載系統，有助於減少停機時間和提高設備的生產率。Alpha 303i是一種可靠、先進的擴散爐機器，為矽片提供高精度的熱處理解決方案。該爐采用模塊化設計，易於擴展，強大的微處理器控制工具確保每次操作準確、可重復。此外，低瓦數射頻加熱技術確保了準確加熱，氣體入口歧管確保了廢氣的有效清除。這種擴散爐資產非常適合那些尋找可靠和精確的半導體器件熱處理解決方案的人。
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