二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293660114 待售
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ID: 293660114
優質的: 2007
LPCVD Furnace
Process: TEOS
Heater: VMM-56-002
FUIIKIN Air valve
APC: CKD
Gas: N2-1, Pure N2-1, O2, TEOS CG100, N2-2
Power supply: AC 208V, 3-Phase, Single-Phase
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種擴散爐和附件,用於在高溫下生產高純度半導體和其他材料。TEL ALPHA-303I能夠達到高達1250攝氏度的溫度,並配有電阻爐和內置冷卻風扇。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I還有一個氣體過濾系統,它能夠通過消除微小的塵埃顆粒來保持室內的純度。整個設備由高級不銹鋼構成,並配有保溫門以保持溫度穩定和先進的操作員保護安全系統。該爐采用渦流加熱方法,在爐內達到均勻加熱和溫度均勻。渦流加熱法利用氣體管線、氣體噴射和振動器式攪拌器,負責將管線和噴射噴嘴的氣體結合在一起,形成一種渦流形式。這種渦流加熱方法使溫度上升更平穩,加熱時間也更快。ALPHA-303I的內部容積為50升,可處理各種氣體,包括氧氣、甲烷、氙氣和氮氣。它還與二氧化矽、矽化合物、氧化鋁、氮化物、碳化物等幾種電荷材料兼容。此外,TEL ALPHA-303 I還具有自動區域設置(AZS)功能,可用於為爐內的每個工藝區域設置不同的條件,如溫度、氣體和基板類型。使用TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I,用戶可以實現清潔優質的產品,如半導體、太陽能電池等電子產品。Alpha 303i的精密度和精確度使得每個晶片都能均勻加熱和冷卻,從而提高產品質量和產量。為每個工藝區域設置不同條件的能力進一步增強了本產品的功能,並為用戶提供了根據其特定需求自定義計算機功能的能力。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I是為滿足現代制造業需求而設計的強大擴散爐及配件。它能夠處理多種基材和氣體,使其成為生產多種優質、無瑕產品的通用可靠工具。
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