二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293745193 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 293745193
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Furnace, 12"
Process: LPCVD Nitride
Handler system
(2) FOUPs
Non-functional:
Process chamber
Heater
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i擴散爐是以最新技術建造的先進自動化系統,以符合熱處理的最高標準。它們的設計目的是提供一致的均勻加熱,以便對熱過程進行精確控制,並保持對關鍵參數的精確控制,以確保一致和可重復的過程性能。TEL ALPHA-303I系列采用混合氧化/擴散型控制設備,可選擇三種不同的版本。這些選項旨在提供滿足特定需求的靈活性,允許用戶為流程選擇適當的擴散環境。擴散爐還包括一個多級線性MPC(多參數控制)系統,設計用於提供整個過程的高精度溫度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I擴散爐還配備了一系列先進的配件,包括樣品旋轉器和石英襯裏。這些配件被設計為增強和擴展慢熱式擴散爐的能力,使樣品持有者在過程中得以旋轉,讓用戶獲得均勻的處理結果。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I擴散爐還包括內置的振動保護系統和溫度極限控制電路等一系列安全特性。這些安全特性將確保擴散爐的一致和精確運行,也有助於保護它免受意外損壞。TEL ALPHA-303 I擴散爐采用的先進技術經過設計和測試,在各種應用中提供了更高的穩定性和性能。易於使用的操作單元具有一系列用戶友好的功能,使其適合各種流程。綜上所述,TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I是一種先進的擴散爐機床,包括一系列配件,可以進行精確、均勻的加熱。它配備了一系列安全功能,以確保一致和精確的操作。該工具還具有易於使用的操作資產,適合各級用戶使用。ALPHA-303 I擴散爐是需要精確溫度控制和均勻處理結果的一個很好的選擇。
還沒有評論