二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293754732 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種用於制造半導體品質產品的擴散爐及配件。可用於擴散、氧化、LPCVD等多種過程。TEL ALPHA-303I具有手動和全自動功能,因此非常易於使用。它也適合小批量生產，由於改進了工藝控制和監測，產量更高。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I的最大功率是110kW的,可調節輸出和溫度分析.腔室尺寸為直徑35.4厘米，深度35厘米，最大基板尺寸為直徑300毫米。該爐有6個加熱區，具有加熱感受器和全氮能力。這允許目標研究如氧化、雜質擴散、矽化和多層沈積的評估。此外，高溫工藝兼容性可高達1100 °C以上。TEL Alpha 303i也有多達6個氣體輸入通道通過氣體註入系統和一個可選的原位計量系統，提供實時反饋，用於控制溫度和過程各階段使用的各種氣體等參數。它還可以接受包括50/60 Hz功率和平衡/不平衡交流電源在內的各種供熱源。最後,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I提供了易於保存、編輯和加載的配方。這使得它對工程師、技術人員和生產人員都非常方便用戶。該設備還具有工廠安裝的安全功能，包括E-Stop、溫度和壓力警報以及火災探測系統。TEL/TOKYO ELETRON ALPHA-303I是各種半導體生產應用的優秀擴散爐及配件。它具有易於使用的特性,對於那些希望在進行高質量工藝的同時提高生產產量的人來說,它是一個絕佳的選擇。