二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293758336 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種先進的半導體加工解決方案,具有先進的直接耦合雙室擴散爐設備。此解決方案有助於使高級半導體的制造更加高效、快捷和可靠。爐子獨特的設計最大限度地利用了兩個腔室同時和幫助減少汙染，由於其無角設計。TEL ALPHA-303I是一個完全自動化的系統，集成了機器人負載鎖。這種載荷鎖最大程度地減少了裝卸零件時發生腔室汙染的機會。該單元隨附的定制軟件簡化了整個過程，有助於更快、更輕松地組織多個序列。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I旨在提供卓越的性能、更好的均勻性和最佳的精度。即使在惡劣、具有挑戰性的環境中，熔爐的多層加工環境也能提供良好的均勻性和溫度穩定性。緊湊型燃燒室內的燃燒器能夠在競爭系統中提供最高的轉移效率和最優的沈積速率。集成到TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I中的先進、功能齊全的TEMI-2控制器使用戶能夠安全地執行數據分析和快速實時過程控制。控制器還配備了自動/手動飛行室調諧能力、多單元管理和實時就地測量等最先進的功能。Alpha 303i因其較大的工藝面積和模塊化設計而與廣泛的基板兼容。這使得它成為不同過程的理想選擇，如摻雜、退火、PVD和CVD。該爐還設計有先進的安全特性，包括排氣機、熱限制器和安全互鎖關閉工具。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I是一種先進、用途廣泛且可靠的擴散爐資產，提供卓越的性能、均勻性和精確度。該模型具有強大的設計、用戶友好的界面和先進的安全特性，能夠在各種受管制的工業部門提供成功的沈積工藝。