二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293766646 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種下一代的半導體和顯示行業的擴散爐及配件。它是一種全自動、高溫、超高真空(UHV)聚焦離子束(FIB)和濺射沈積設備。TEL ALPHA-303I通過高分辨率成像、高通量、對濺射沈積的精確控制以及靈活的各種應用工藝設計,提供了卓越的性能。它可以同時沈積、蝕刻和構建設備結構。自動化系統提供了卓越的工藝一致性,可配置為縮短制造時間。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I利用串聯反應器套件在最高溫度和真空水平下提供熱、自由基和原子,並改進了設計,大大提高了工藝精度和可重復性。垂直多室設計允許所有腔室快速、同時的溫度循環,排氣單元有效地清除任何剩余的氧氣、氮氣和其他可能的汙染物。TEL Multi-source Ion Implanter是一種可選的機器,它是一種先進的植入技術,具有多種植入模式的優點,包括雙光束、組陣列和單區域模式。該工具可以提供前所未有的高劑量精度和均勻性,以及近束關閉時間。ALPHA 303 I還配備了先進的晶圓加載資產,旨在實現更快更安全的晶圓傳輸。結合自動感知模型和自動晶片檢索設備,晶片加載系統可以減少晶片處理時間,防止異物汙染。此用戶友好單元與TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I流程規則兼容,能夠快速部署,並具有高水平的流程控制和機內分析。ALPHA-303我可以與其他系統集成,包括自動步進器、AFM和成像工具。對於需要可靠、經濟高效的焊線焊接方法、制造電路和創建層層沈積的制造商來說,Alpha 303i是一個極好的選擇。憑借其先進的資產設計,ALPHA-303I可以為高吞吐量需求提供高效可靠的解決方案。
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