二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293829710 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種熱擴散爐和附件，用於在高達1100攝氏度的溫度下處理晶圓和其他基板。該工具利用具有快速熱梯度的雙區熱區,從而允許更快的生產時間、更高的溫度和更大的產量。TEL ALPHA-303I的核心部件包括加熱室、氣體傳遞環和溫度控制模塊。一種自動基板處理設備為預熱、蝕刻和沈積工藝室提供了一種均勻的基板。此外，它還提供了集成的水冷和強制排氣通風系統。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I配備了最新的Thermco Series III控制器，具有先進的編程參數和選項，便於精確的地下溫度和工藝優化。它內置的壓力傳感器監測爐門壓力和熱氮化物排氣壓力，以幫助確保嚴格的過程控制。單元的自動化方面進一步簡化了工藝室內的擴散速率和溫度均勻性。其他功能包括方便的地面熱氣體旁路和排氣風扇控制,它提供手動覆蓋以確保安全運行。該爐還配備了先進的安全機制，如火焰檢測機，在檢測到危險程度的易燃氣體時自動關閉電源。TEL Alpha 303i效率極高,而且需要極少的維護,這使得它成為尋求高效可靠擴散爐的企業的絕佳選擇。它提供了統一、可重復的結果，並實現了高質量的晶圓和基材加工。安全特性、高端工藝優化、易用性的結合有助於降低開銷成本和生產時間，使得TOKYO ELECTRON ALPHA 303i成為尋求可靠擴散爐的廠商的絕佳選擇。