二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9167199 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種擴散爐，廣泛應用於薄膜沈積的工業和研究應用。TEL ALPHA-303I由直徑6英寸的石英反應堆室、集成氣體噴射設備、石英敏感器和溫度控制器組成。溫度控制器采用頂端PID算法,可提供高達1100 °C的穩定、精確的基板溫度。整個系統通過具有直觀用戶界面的觸摸板控制器運行。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I擴散爐是一個垂直的石英室，周圍有一個壁的石英crucible。該腔室有一個氣體註入單元，能夠將氮氣、氫氣、氙氣或其他氣體註入腔室。這種氣體還被用來制造一種保護性屏蔽物，保護其免受汙染。熱控機由兩個熱電偶輸入組成，分別監測石英熔爐溫度和腔室溫度。擴散爐的下遊是一系列附件，包括真空工具、機械門、高溫波紋管、冷陷阱、壓力表和氣體凈化配件。其他可選組件包括多端口噴射器、多區域噴射器、熔爐歧管、閥室等。Alpha 303i擴散爐提供卓越的溫度均勻性和可重復性，以及優異的熱穩定性。這確保了高質量的薄膜沈積工藝。它還具有成本效益,因為低成本組件的使用壽命更長,並且比其他型號更容易更換。綜上所述，ALPHA 303 I擴散爐及配件提供卓越的溫度控制和均勻性，出色的熱穩定性，成本效益。適用於薄膜沈積的工業和研究應用，是制造專業人員的寶貴工具。