二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9211140 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是專門為半導體器件生產而設計的先進擴散爐及配件。其先進的加熱技術確保了先進設備結構的可靠熱擴散過程。TEL ALPHA-303I采用了一種新型的大面積爐膛，稱為3 cm爐膛。該腔室采用三維設計，針對均勻的熱分布進行了優化，改善了腔室溫度與基板的匹配。它還有效地捕獲反應物氣體，防止設備結構受到汙染。該腔室還與自動手動轉移兼容，還具有一種新型的真空閘閥和波紋管耦合器，用於優化氮氣或氙氣處理。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I還配備了用於可靠熱擴散的雙溫測量設備。該系統采用熱耦合測量頭，精確檢測基板兩側的溫度，能夠對工藝條件進行可靠的控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I也有一個自動化的交付單元，允許精確和可重復的過程。該機具有多通道數字流控制器和各種端口，便於模塊的安裝和拆卸。自動化交付工具還允許精確和可重復的流程，加上自動化控制軟件，以實現高效的流程管理。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I是專門為先進半導體器件生產而設計的先進擴散爐及配件。其先進的加熱技術確保了先進設備結構的可靠熱擴散過程，而其雙溫度測量資產和自動化交付模型提供了精確和可重復的過程。此外，它的3厘米爐膛改善了爐膛溫度和基板的匹配，並捕獲反應物氣體以防止汙染。