二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9224009 待售

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ID: 9224009
優質的: 2002
Furnace 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種擴散爐及附件設備,旨在促進制造半導體器件的中低體積擴散過程。這個集成系統由一個8英寸的晶圓傳遞燈、一個8英寸的加熱器和一個連接到相鄰的處理單元組成。8英寸晶圓傳輸燈是機器的組成部分,為晶圓傳輸步驟提供均勻的光源。它具有高利用率、靈活的電源設置和先進的光學設計。8英寸加熱器在擴散過程中采用對流加熱的方法在整個8英寸晶圓上保持均勻的溫度。它還提供精細的溫度控制和寬廣的溫度範圍。TEL ALPHA-303I設計為與各種處理系統兼容,允許相鄰組件之間進行簡單的晶圓傳輸。該工具還提供手動和全自動操作,允許用戶使其適應任何特定過程。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I包括一個集成的安全資產,它將爐子與其他系統隔離,以防止設備意外損壞。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I的設計考慮到可靠性,具有獨特的控制模塊和增強的診斷和數據記錄功能。這使模型能夠收集、記錄和分析大量數據,從而使操作員能夠快速識別趨勢並采取糾正措施。此外,TEL ALPHA-303 I還配備了可選的熱成像攝像頭來監控內部溫度。ALPHA-303 I旨在在執行擴散處理時提供盡可能高的準確性和可靠性。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I通過其先進的設備集成、高功率效率、安全特性的結合,是中低體積擴散處理的理想系統。
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