二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9235827 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種擴散爐和相關配件的集合，設計用於半導體制造。利用先進真空處理、晶圓、電阻加熱和公用事業控制的獨特組合，該設備能夠提高精度、效率和可重復性，提高制造性能。該系統圍繞TEL ALPHA-303I室構建，循環時間快，溫度控制嚴密，保證了優異的效果。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I有一個1,500公升的加工不銹鋼室，用於快速的多層基板擴散過程，以及一個高效的石英鐘形感光器和石英鹵素燈，用於均勻的溫度分布。其閉室、雙門設計增強了工藝控制，提高了產品質量。設備性能的核心是TEL高精度、線性驅動的UPECB處理控制。UPECB根據環境條件進行自我調整，從而無需不斷重新校準機器。UPECB還確保對精確基板溫度進行精確的氣體/真空控制,並改善腔室內的均勻性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I附有一套旨在提升性能的配件。為保護腔室內部免受汙染物汙染，該工具配備了慣性顆粒清潔器，在工件上循環一股氮氣。還包括一個旋轉石英船，它允許更快，更均勻的擴散處理。為確保性能和質量,ALPHA 303 I包括用於自動處理的化學接口、用於監控的真空抽頭以及各種安全系統和聯鎖裝置。為實現數據記錄和處理,資產包括一個7英寸觸摸屏顯示屏和一個內置操作員面板,便於控制和深入的流程文檔。TEL ALPHA-303 I擴散爐是半導體行業工藝工程師必不可少的工具,它提供了確保最大性能和產品質量的準確性、效率和可重復性。