二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251681 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i （TEL）擴散爐是一種高性能單元，設計用於各種金屬、合金和金屬間化合物的快速、高效擴散。它具有自動化的控制設備，旨在提供快速、精確的過程參數可重復性，使其成為高通量擴散過程的理想選擇。TEL ALPHA-303I具有三區支撐的散粒傳熱系統，每個系統都配有獨立的溫度控制和一套獨立調節的氣流，以支持高度精確的溫度控制。該室設計用於快速熱再生，包括一個ult-high劑量粒子收集單元，設計用於捕獲小至0.05微米的汙染物。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I還配備了一個高溫陶瓷反射器，設計用於引導來自內部加熱器的輻射以最大限度地提高加熱效率，以及設計用於減少輻射損失的超大腔壁。其低慣性設計確保了快速加熱時間和快速啟動時間。TEL Alpha 303i配備了用戶友好、菜單驅動的操作員界面，方便訪問工藝參數、監控參數、設置時間/溫度配置文件、調整氣體流量、設置安全參數。觸摸屏顯示還允許通過Web服務器進行詳細編輯和遠程監控。除了這些先進功能外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I還配備了多項安全功能，如熱關閉電路、壓力安全開關、密封氣體連接、極端溫度報警器等。這些特性使其成為要求最高安全和準確性的高密封制造工藝的理想選擇。總體而言，ALPHA-303 I擴散爐是一個可靠、高效、安全的單元，用於加工各種金屬、合金和金屬間化合物。它的自動化控制機使工藝參數具有精確的可重復性，其先進的安全特性使其成為高密封制造工藝的理想選擇。