二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251683 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種單晶片擴散爐設備，為電子器件制造提供優異的性能，特別是先進的矽片。它在擴散、蝕刻和沈積過程中使用最新技術。TEL ALPHA-303I具有多種內置配件,包括自動液體輸送系統、手動液體填充、前後負載鎖以及主動前後開口。此外,還有一個先進的狹縫閥設計,可幫助確保準確的加工氣輸送和溫度精度。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I具有開放和易於使用的可調流設計。這允許獨立和同時控制前後流量。它還有一個操作平臺和耐腐蝕的腔室，可以承受高達220°C的溫度。ALPHA-303 I室采用高品位、耐腐蝕材料建造，具有很高的可靠性和耐用性。此外，利用垂直式直熱元件優化爐溫均勻度。TEL ALPHA-303 I在750至1100°C範圍內的溫度均勻性提高了± 2至3°C，這要歸功於它具有多區溫度的高產三區加熱懸垂裝置。它還利用各種氣體，包括N₂,CO₂、S₂O₂,CF₂,O₂#、H₂,NH₃和SF₆，使其成為真正的多用途擴散爐。再者，TOKYO ELECTRON ALPHA-303I有幾個為保證使用者安全而設計的安全功能，包括一個可鑰匙鎖定的啟動/停止機制、一個自動接觸檢查機和一個光學檢查工具。光學檢查資產可確保腔室不受汙染。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I是一個非常高效的擴散爐模型，提供卓越的性能。它專為高吞吐量和準確度而設計,可實現更好的質量和更快的工藝周期。憑借其獨特的設計、先進的配件和高度可靠的安全特性，它是任何電子設備制造商的絕佳選擇。