二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251684 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種革命性的擴散設備，由爐子和相關配件組成。該爐利用單區工藝室種植結晶半導體等材料。該爐的設計有利於快速加熱和冷卻速率，以及用於先進半導體加工的精確溫度和大氣控制。TEL ALPHA-303I的單區爐室采用高頂禮帽設計，非常適合快速加熱和冷卻。密封腔室形成惰性氣氛，以防止加工過程中目標材料氧化。腔室由一對鹵素燈加熱，利用高溫陶瓷反射器確保在一定溫度範圍內良好的均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I的溫度控制通過大氣控制和隔熱兩種機制進行優化。使用大氣氣體混合器維持爐膛內正確的氣氛。另外，該爐采用氧化鋁纖維絕緣層設計，可最大限度地減少熱量損失，消除熱點。這導致溫度波動較小，擴散過程更加穩定可靠。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I配有各種配件，旨在提供一系列通用的擴散解決方案。其中包括多個石英容器、樣品籃以及在擴散過程中設計為最大化均勻性的crucibles。此外，還包括幾個組件，以提供特定的擴散要求，如快速冷卻、精確溫度控制、大氣控制和可調氣流。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i擴散設備包是一種用途廣泛、可靠、可靠的技術，非常適合成長中的先進半導體。其溫度和大氣控制的結合，加上其種類繁多的配件，使其成為定制擴散解決方案的理想選擇。