二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251686 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一款最先進的擴散爐及配件，旨在提供純度、均勻性、重復性最高的高端薄膜。它具有先進的技術,能夠快速加工各種材料。TEL ALPHA-303I是一種具有三區加熱設備的多級爐，使其能夠提供質量和可重復性較高的深度反應性離子蝕刻（DRIE）和熱氧化過程。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I利用獨特的等離子體生成室，以氧氣、氮氣或矽氫氣供氣，以修改各種工藝條件，提高均勻性和純度。它具有主動溫度和壓力染色均勻性控制系統，具有溫度規劃和溫度映射功能。ALPHA-303I還具備多種氣體輸送技術，從隨時間變化的流量到精確定時的氣體脈沖。此功能使用戶可以實現精確的薄膜沈積和過程控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I提供了一個集成的多點監控系統，允許用戶收集室內壓力、溫度、氣流和氧氣濃度等眾多工藝參數的數據。此數據用於創建統一映射或優化TOOL。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I是一種多罐氣體輸送裝置--用戶也可以選擇低壓或高壓配置，為各種過程建立有利的大氣。還包括一個電子捕獲機，以及一個覆蓋石英的射頻電感和伴隨的射頻電源，用於控制頻率。這允許用戶進行靜電塗層、濺射和PVD處理。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I還包括了一個升空過程，以及一個高級烘烤模式與門自動打開和屋頂在出運動。升空工藝可用於晶圓偏置蝕刻、等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）和其他表面處理，以提高薄膜質量。烤箱蓋也可以裝載高達20千克，使用戶可以達到均勻性，防止失真問題。此外，TEL ALPHA 303 I包括一個用於幹洗的化學端點檢測工具，並配備了400mm均勻性映射資產。這使用戶能夠確保過程控制穩定並獲得精確的批處理數據。而且，Alpha 303i塗覆了特殊的低阻力陶瓷飾面，提供了最大的精度、均勻性和可重復性。TEL ALPHA-303 I是一種先進的設備,可為用戶提供多種功能,以確保卓越的完美、質量和可重復性。它允許用戶以最高質量執行各種流程,同時還提供數據以確保成功控制流程。