二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251688 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是設計用於半導體制造工藝的高性能擴散爐及配件。它可以執行多種任務，包括底物摻雜、淺溝隔離（STI）和晶圓去鍵。爐子裝有最先進的垂直反應堆，確保整個爐子的精確溫度和均勻性。它具有1,800¬∞C的最高溫度和整個工藝室的±2¬∞C均勻性。它還配備了高速水冷設備，用於快速高效的冷卻。TEL ALPHA-303I是一個先進的爐子配備了一系列的特點，以最大的效率。它具有高度可配置的內存,最多可存儲64種不同的配方,並且可以快速輕松地進行召回。這允許高效的操作和快速的周轉時間。它還配備了實時監測和控制系統，跟蹤腔室中的工藝參數，確保工藝在最佳條件下進行。除了工藝能力外，TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I還提供出色的安全特性。它是由一個先進的絕緣單元與多層絕緣在操作過程中最大的熱保護構造。該爐還配有若幹聯鎖裝置，以確保安全，並配有緊急關閉閥，在緊急情況下關閉燃氣和電力。TEL Alpha 303i配有全套配件，包括AFM單元、用於在腔室之間傳輸晶片的載波升降機和晶片對準機。這樣可以在設置工具時獲得最大的靈活性,並確保晶圓快速準確地加載和卸載。總之，Alpha 303i是一種先進的擴散爐及其附件，具有優異的性能和安全性。它配備了先進的溫度控制和監控能力，快速的處理能力，以及一系列的附件來增強它的功能。對於需要可靠高效的擴散爐的人來說，這是一個理想的選擇。