二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9269364 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是為滿足微電子工業的需求而設計制造的擴散爐及配件。它是一個單一的晶圓爐，提供最高溫度控制，最小化停機時間，提高產量。TEL ALPHA-303I擁有一個純粹由不銹鋼構成的晶片加工室，提供卓越的性能和持久的穩定性。該單元采用3向270度旋轉的集成設計,可在晶圓的上下表面均勻加熱。加熱設備使用高度先進的間接加熱元件，由高端電阻元件和陶瓷加熱器組合而成，可實現高達1300 °C的大溫度範圍。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I使用了革命性的16區大氣控制系統，由徑向流式制備室和合金氣體排氣池組成。16個區域中的每一個區域的溫度都是獨立和連續監測的，從而能夠更密切地控制溫度，同時降低熱生產率。其專有的RAD設置內壁結構也消除了對冷卻劑散熱器的需求，從而大大降低了成本。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I的高端選項提供更高的效率和生產力。它具有先進的電源轉換器,可提供多種輸出電流,可用於達到所需溫度。此外，其高精度的質量流量控制器和三閥控制單元保持穩定的內部氣氛，同時利用廣泛的氣體選項。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I的設計提供了幾個額外的功能。其內置的鎖定按鈕、應急預警電路和自動停車機，旨在防止事故發生，保護安全的操作環境。其先進的安全報警工具也在必要時發出警告。ALPHA 303 I是任何微電子實驗室的理想選擇。它提供了可靠的加熱溫度與良好的控制和穩定性，所有的一個高效的封裝。