二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9311031 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一款強大、高性能的擴散爐及相關配件。它設計用於通過退火、CVD、氧化等集成工藝高產制造半導體器件。該設備非常適合各種半導體器件應用，如互連、淺溝隔離、MOSFET和新興器件制造。TEL ALPHA-303I具有三區配置,可實現高性能、易於操作和可擴展性,以滿足客戶需求。其頂部和底部石英爐管各分為兩個獨立運行的獨立區。該系統還配有感應加熱底區，促進統一的溫度控制，以達到最佳工藝和屈服效果。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I還配備了多種控制系統,以確保安全性和準確性。它采用鈍化發射器接觸（PEC）控制器,用於集成腔室壓力控制.這樣可以最大程度地減少加熱膜的背面附著力。TEL ALPHA 303 I的高級設計還促進了可重復的流程,並提供了在穩定環境中優化的流程可重復性。除此以外，該爐還配備了自動清洗裝置，可快速交換氣體，減少殘余氣體與加熱膜的化學反應。另外還有一個氣體分析裝置，用於方便地監測爐內存在的氣體，從而有助於確保最佳工藝條件。此外，一個可選的廢氣處理單元可以連接到頂部區域。最後，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I具有寬廣的溫度範圍能力，提供高達1150°C的溫度。它還提供了諸如壓力安全閥、用於頂部管的除塵器和用於底部管的冷卻工作支架等創新。這使得它適用於對工藝參數的精確控制、高吞吐量和先進產量至關重要的多種應用。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I擴散爐是一種高效的機器，有利於高產設備的制造。它具有三區配置、寬廣的溫度範圍和各種控制系統，確保安全和準確性。這些特性使我ALPHA-303成為各種半導體器件應用的理想選擇。