二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9350835 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一種用於半導體制造的最先進的擴散爐。它被設計為進行熱氧化,這是集成電路制造中必不可少的過程。這種強大可靠的熔爐最高溫度為1350 °C,可以容納直徑達8英寸的晶片。TEL ALPHA-303I由耐高溫氧化變形的優質材料制成。具有精確的溫度控制和穩定的均勻散熱特性.內置惰性氣體供應設備也消除了氧化過程中的氧氣汙染。這保證了良好的薄膜均勻性和顯著提高的產量。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I提供了廣泛的過程控制功能。它具有數字控制器、報警器、傳感器和反饋系統,可確保持續執行過程,即使在電源不足或組件出現小故障時也是如此。腔室由單件不銹鋼制成,維護有效,可靠性高。其氧化規格在原始晶圓規格的0.5%以內。該爐還提供一些配件,以提高生產效率和成本效益。這包括兩個額外的輸送機,每個輸送機的晶圓容量為3,000,以及一個自動裝載單元。自動裝載機具有RFID讀取器、溫度監視器、速度調節器和晶片支架,用於精確的可編程放置。TEL ALPHA 303 I是一種高性能的擴散爐,提供易用性、卓越的可靠性和精確的溫度控制。其結合的配件使其成為大規模生產的理想之選。TEL Alpha 303i具有可靠的設計和卓越的性能,是制造可靠、高性能集成電路的理想選擇。
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